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서지주요정보
Plasma etching : an introduction
서명 / 저자
Plasma etching :
an introduction /
edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm.
저자명
Flamm, Daniel L.
;
Manos, Dennis M.
발행사항
Boston :
Academic Press,
c1989.
총서명
Plasma - materials interactions
소장정보
등록번호
5018408
소장위치/청구기호
학술문화관(도서관)3층 과학기술도서
TA2020 .P5 1989
휴대폰 전송
소장위치
도서상태
이용가능(대출불가)
사유안내
반납예정일
리뷰정보
서지기타정보
서지기타정보
청구기호
TA2020 .P5 1989
형태사항
xii, 476 p. : ill. ; 24 cm.
언어
English
서지주기
Includes bibliographical references and index.
주제
Plasma etching.
Plasmas
LCCN
87037419
ISBN
0124693709
QR CODE
책소개
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목차
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