서지주요정보
Plasma etching : an introduction
서명 / 저자 Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm.
저자명 Flamm, Daniel L.;Manos, Dennis M.
발행사항 Boston : Academic Press, c1989.
총서명 Plasma - materials interactions

소장정보

등록번호

5018408

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)3층 과학기술도서

TA2020 .P5 1989

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도서상태

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서지기타정보

서지기타정보
청구기호 TA2020 .P5 1989
형태사항 xii, 476 p. : ill. ; 24 cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references and index.
주제 Plasma etching.
Plasmas
LCCN 87037419
ISBN 0124693709
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