서지주요정보
Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication
서명 / 저자 Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petrović.
저자명 Makabe, T;Petrović, Z.
발행사항 New York : Taylor & Francis, 2006.
총서명 Series in plasma physics

소장정보

등록번호

5056221

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)3층 과학기술도서

TA2020 .M35 2006

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서지기타정보

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청구기호 TA2020 .M35 2006
형태사항 339 p. : ill. ; 25 cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references and index.
주제 Plasma engineering.
LCCN 2005056888
ISBN 0750309768
기타 표준번호 9780750309769
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