서지주요정보
Plasma processing of semiconductors
서명 / 저자 Plasma processing of semiconductors / edited by P.F. Williams.
저자명 Williams, P. F
발행사항 Boston : Kluwer, 1997.
총서명 NATO ASI series. Series E., Applied sciences ; vol. 336

소장정보

등록번호

5025356

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)3층 과학기술도서

TA2020 .P532 1997

휴대폰 전송 소장위치

도서상태

이용가능(대출불가)

사유안내

반납예정일

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6010534

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학술문화관(도서관)3층 과학기술도서

TA2020 .P532 1997 c. 2

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서지기타정보

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청구기호 TA2020 .P532 1997
형태사항 x, 613 p. : ill. ; 25 cm.
언어 English
일반주기 Includes index.
주제 Plasma engineering.
Semiconductors --Etching.
Plasma etching --Industrial applications.
Plasma chemistry --Industrial applications.
LCCN 97016609 //r97
ISBN 0792345673
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