서지주요정보
Resolution enhancement techniques in optical lithography
서명 / 저자 Resolution enhancement techniques in optical lithography / Alfred Kwok-Kit Wong.
저자명 Wong, Alfred Kwok-Kit.
발행사항 Bellingham, Wash. : SPIE Press, c2001.
총서명 Tutorial texts in optical engineering ; v. TT 47

소장정보

등록번호

5036452

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)3층 과학기술도서

TK7874 .W647 2001

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서지기타정보

서지기타정보
청구기호 TK7874 .W647 2001
형태사항 xvii, 214 p. : ill. ; 26 cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references (p. 189-208) and index.
주제 Integrated circuits --Design and construcition.
Microlithography.
LCCN 2001020028
ISBN 0819439959 (softcover)
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