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Microsensors, MEMS, and smart devices
서명 / 저자 Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan.
저자명 Gardner, J. W;Varadan, V. K
발행사항 New York : Wiley, 2001.

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서지기타정보

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청구기호 TK7875 .G37m 2001
형태사항 xvii, 503p. : ill ; 25cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references and index.
주제 Microelectromechanical systems.
Detectors.
Intelligent control systems.
LCCN @ 01024353
ISBN 047186109X:
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