Active matrix organic light-emitting diodes (AMOLEDs) have attracted huge attention because it is one of the most promising candidates for flexible display. However, in order to realize flexible devices using AMOLED, it is essential to develop substrate flexibility, high-performance thin film encapsulation (TFE), and the high-performance backplane. For this reason, I developed high-performance TFE which can achieve the long-term stability of OLEDs through the double-layer structure of silicon oxynitride (SiON) deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PE-CVD) and acrylate polymer coated by spin-coating. In addition, to realize high-performance backplane that can be adapted to high-resolution and large area displays, alumina ($Al_2O_3$) deposited using atomic layer deposition (ALD) has been applied as a gate insulator layer of the oxide semiconductor thin film transistor (oxide TFT). As a result, we developed backplane with high mobility and high reliability.
능동형 유기발광 다이오드는 유연한 디스플레이를 구현하기 위한 많은 방법 중 하나로 큰 각광을 받고 있다. 하지만, 능동형 유기발광 다이오드를 활용해 유연한 소자를 구현하기 위해서는 기판의 유연성, 고성능 박막봉지, 고성능 백플레인의 개발이 필수적 요소이다. 이러한 이유로 본 연구에서는 앞서 언급한 필요조건 중 수분과 산소의 차단을 통해 유기발광다이오드의 장기안정성을 확보해줄 수 있는 고성능 박막 봉지 구현하기 위하여 플라즈마 강화 화학증착법으로 증착 된 질산화규소와 아크릴레이트 고분자 이중층 구조를 개발하였다. 또한 고해상도 대면적 디스플레이에 적용 가능한 고성능 백플레인을 개발하기 위하여 산화물 반도체 박막트랜지스터의 게이트 절연막으로 원자층 증착법으로 증착 된 알루미나를 적용, 고이동도 고신뢰성을 갖는 백플레인을 개발하였다.
