서지주요정보
백금 실리사이드를 이용하는 쇼트키 다이오드 적외선 감지소자 = Platinum silicide schottky barrier IR detector
서명 / 저자 백금 실리사이드를 이용하는 쇼트키 다이오드 적외선 감지소자 = Platinum silicide schottky barrier IR detector / 박보연.
저자명 박보연 ; Park, Bo-Youn
발행사항 [서울 : 한국과학기술원, 1983].
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4102120

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MEE 8312

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초록정보

Platinum silicide Schottky barrier IR detectors with thick silicide layers were fabricated on 5-15 ohm-cm p-type (100) silicon wafers. Platinum silicide layer was formed by vacuum E-gun deposition of platinum after conventional wet chemical cleaning, and subsequent sintering in dry nitrogen ambient. Fabricated detectord have near ideal (n=1.1) diode characteristics with barrier height of 0.24 eV at 77 K. IR detectors were operated at 81K in the mode of backside illumination with zero bias. Spectral responses of the detectors were measured in the range of 1.7um to 2.8um. Extrapolated cut-off wavelength from the spectral response measurement is 7.3um (equivalent to 0.17 eV barrier) and measured quantum efficiency is about 0.1% at 2.2um.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MEE 8312
형태사항 [iv], 58 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Bo-Youn Park
지도교수의 한글표기 : 김충기
공동교수의 한글표기 : 권영세
지도교수의 영문표기 : Choong-Ki Kim
공동교수의 영문표기 : Young-Se Kwon
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
서지주기 참고문헌 수록
주제 Infrared detectors.
Electron gun.
Sintering.
쇼트기 장벽 다이오드. --과학기술용어시소러스
적외선 탐지기. --과학기술용어시소러스
전자총. --과학기술용어시소러스
Diodes, shottky-barrier.
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