Lot release control plays an important role to efficiently manage WIP and production cycle time in semiconductor FAB. Previous studies have dealt with lot release policies that only consider the characteristics of tool except for the automated material handling system(AMHS). However, in the characteristic of semiconductor FAB, waiting time and transportation time by AMHS account for most of the cycle time. As a result, lot release control was conducted that did not properly reflect the unique characteristics of FAB, such as the movement of job in actual semiconductor FAB. This study verifies various lot release policies proposed in previous studies based on the simulation environment reflecting the characteristics of tools and AMHS. In particular, we would like to present a new lot release policy in consideration of AMHS to show the possibility of improvement in lot release control research that considers movement of jobs in the FAB.
반도체 FAB은 웨이퍼 투입량 관리를 통해 생산의 핵심지표인 WIP과 생산 사이클 타임을 효율적으로 관리할 수 있다. 기존의 연구는 자동물류 반송 시스템(AMHS)을 제외한 장비의 특성만 고려한 투입 정책을다루었다. 그러나 반도체 FAB의 특성상 대부분의 생산 사이클 타임은 대기시간과 AMHS에 의한 물류 이동시간이 차지한다. 이로 인해 실제 반도체 FAB에서 물동량의 이동 등의 FAB의 고유 특성을 적절히 반영하지 못한 투입 분석이 이루어졌다. 본 연구는 장비 및 AMHS의 특성을 반영한 시뮬레이션 환경을 기반으로 기존 연구에서 제시한 다양한 투입정책을 검증한다. 특히 AMHS를 고려함에 따른 새로운 투입 정책을 제시하여 FAB 내 물류 이동을 파악한 투입 관리 연구의 개선 가능성을 보이고자 한다.
