In this work, I developed SU-8 based device system that combines micro-LED arrays with micro ECoG array for simultaneous light stimulation and neural signal recording. The integrated Opto-ECoG array is comprised of 16 Au nanonetwork transparent electrodes and 8 micro-LEDs are fixed in patterned SU-8 hole structure over the ECoG array. That point these two parts do not need to be aligned with any alignment tools is important. This is because micro LED array is fabricated on the micro recording array vertically. This integrated structure also solves the problem of photoelectric artifacts because it is fabricated as a transparent structure using electrospinning. Additionally, Electrochemical characteristic of the device was examined by measuring electrochemical impedance. During the micro-LED stimulates the cortex, in-vivo experiments were performed to investigate the efficacy of proposed device in a rat for neuroscience studies.
이 연구에서는 빛 자극과 신경 신호 기록을 동시에 진행 하기 위해 마이크로 LED 어레이와 마이크로 이코그 어레이를 결합한 SU-8 기반의 소자 시스템을 개발했습니다개발했습니다. 통합된 빛 자극-이코그 어레이 는 16 개의 골드 나노 네트워크 투명 전극으로 구성되어 있고 8 개의 마이크로 엘이디가 이코그 어레이 위의 패턴 된 SU-8 hole 구조에 고정되어 있습니다. 이 두 부분을 따로 제작하여 align 할 필요가 없다는 점이 중요합니다. 이는 마이크로 엘이디 어레이가 마이크로 전극 어레이 위에 수직으로 제작되기 때문입니다. 또한 이 통합된 구조는 전기 방사법을 사용하여 투명한 구조로 제작이 되기 때문에 포토 일렉트릭 아티팩트 문제를 해결합니다. 그리고 디바이스의 전기 화학적 특성을 평가하고자 전기 화학 임피던스 측정을 진행하였습니다진행하였습니다. 마이크로 엘이디가 피질을 자극하는 동안, 생체 내 실험이 진행 되었습니다. 이는 쥐에서 제안된 소자의 효능을 검토하고 뇌 과학 연구에 기여합니다.
