Research use and needs of Scanning Probe Microscopy (SPM), especially Atomic Force Microscopy (AFM) is emphasizing due to the research trends on smaller dimension & structure analysis. As a basic measurement technology for nano structure and properties in nanoscale, SPM usage is expanding through multi-disciplinary research fields, i.e., semiconductor research, material science, biology studies. In this thesis, by analyzing intellectual property related bibliographic data in patents, publications and standards based on bibliographic study methods, we pursue to find research applications and technology development status in scanning probe microscopy technological field
주사탐침 현미경, 특히 원자간력 현미경은 미세화 되는 구조 분석과 물리화학적 분석에 필요성이 증가하고 있는 기초 계측기술이다. 주사탐침 현미경을 사용한 연구의 영역은 반도체를 비롯, 재료공학, 생물학 등 다양한 학제분야에서 사용되고 있다. 본 논문에서는 지식재산권과 연계가 있는 특허의 서지적 정보와 논문의 서지 정보, 그리고 표준 정보의 분석을 통해 주사 탐침 현미경의 연구 및 활용과 기술 개발 현황을 파악해 보고자 한다.
