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웨어러블 일렉트로닉스를 위한 직물 기반 산화물 반도체의 신뢰성 연구 = Reliability of oxide semiconductor on textile substrate for wearable electronics
서명 / 저자 웨어러블 일렉트로닉스를 위한 직물 기반 산화물 반도체의 신뢰성 연구 = Reliability of oxide semiconductor on textile substrate for wearable electronics / 박준홍.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2020].
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등록번호

8036782

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)2층 패컬티라운지(학위논문)

DEE 20095

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리뷰정보

초록정보

In recent years, science and technology have made rapid progress. In the field of display, from cathode-ray tubes to flat panel displays such as LCDs and PDPs, self-luminous displays such as OLEDs were developed. These self-luminous displays can have flexibility and transparency, which makes it possible to realize wearable displays and wearable electronics. The most basic element of an electronic device is transistor and now TFTs are emerging via MOSFET and BJT. There are three types of semiconductors commercially used in TFTs, a-Si:H, poly silicon and amorphous oxide. Above them, amorphous oxide has been attracted due to its advantages such as high mobility of more than $10$ $cm^2/v$∙$s^{-1}$, high mobility and transparency in the visible light region. In this study, we fabricated amorphous oxide semiconductors based amorphous In-Ga-Zn-O (a-IGZO) on textile substrate a low temperature of 150 ℃ and confirmed its performances were comparable to amorphous oxide semiconductors on solid substrate, plastic substrate. We also investigated the reliability of mechanical and electrical stress of oxide semiconductors fabricated on textile substrate to investigate the feasibility of wearable displays and wearable electronics

최근에 과학 기술은 급격한 발전을 해왔고 특히 디스플레이 분야에서는 CRT, 진공관 같은 음극선관부터 LCD, PDP와 같은 평판디스플레이를 거쳐 현재 주를 이루고 있는 OLED와 같은 자발광 디스플레이에 이르게 되었다. 이러한 자 발광 디스플레이는 유연성, 투명성을 가질 수 있으며 이는 곧 이제까지는 상상만 해왔던 웨어러블 디스플레이, 전자장치를 실현 할 수 있게끔 하였다. 전자장치의 가장 기본적인 소자는 트랜지스터이며, MOSFET, BJT를 거쳐 현재는 TFT가 대두 되고 있다. 현재 TFT에서 상용화된 물질은 a-Si:H, 폴리 실리콘, 비정질 산화물이 있으며 이중에서 비정질 산화물은 $10$ $cm^2/v$∙$s^{-1}$ 이상의 높은 이동도, 높은 균일성, 가시광 영역에서의 투명성 등의 장점으로 인해 각광받고 있다. 본 연구에서는 비정질 산화물 중에서 비정질 In-Ga-Zn-O (a-IGZO)를 이용하여 150 ℃ 이하의 저온공정으로 직물 기판 위에 산화물 반도체를 구현하였으며 유리와 같은 고형 기판이나 플라스틱 기판 위에 제작된 산화물 반도체에 뒤떨어지지 않는 성능을 보임을 확인하였다. 또한 직물 기판에 제작된 산화물 반도체의 기계적, 전기적 스트레스에 대한 신뢰성 연구를 진행하여 웨어러블 디스플레이, 전자장치의 구현의 가능성을 살펴보았다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {DEE 20095
형태사항 v, 69 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jun Hong Park
지도교수의 한글표기 : 최경철
지도교수의 영문표기 : Kyung Cheol Choi
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부,
서지주기 참고문헌 : p. 62-66
주제 웨어러블 디스플레이
웨어러블 일렉트로닉스
직물 기판
반도체
비정질 산화물
박막 트랜지스터
저온 공정
wearable display
wearable electronics
textile substrate
semiconductor
amorphous oxide
TFT
low temperature process
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