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(A) study on atomic layer deposition-assisted oxide thin film diode and its application to wearable platform = 원자층 증착법을 활용한 산화물 박막 다이오드의 이해 및 웨어러블 플랫폼 응용
서명 / 저자 (A) study on atomic layer deposition-assisted oxide thin film diode and its application to wearable platform = 원자층 증착법을 활용한 산화물 박막 다이오드의 이해 및 웨어러블 플랫폼 응용 / Hye-In Yeom.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2020].
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8036686

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학술문화관(도서관)2층 패컬티라운지(학위논문)

DMS 20037

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초록정보

Rectifying diodes have been emerging as one of promising components for advanced functional devices including resistive random access memory and backplanes of active-matrix system. Among various types of diodes, metal-insulator-oxide semiconductor diodes have been extensively studied for their outstanding stability and rectifying characteristics. In this dissertation, we developed an ALD-assisted oxide thin film diode by interface engineering, and obtained high on/off ratio of ~ $10^8$, low off current density of $10^{-9} A/cm^2$ and good reliability. Also, we studied an exact mechanism of current flow through various chemical and electrical analysis. Furthermore, we utilized the diodes to demonstrate an active-matrix platform for a wearable electronic system. Consequently, a wearable active-matrix pressure sensor array based on a contact resistive sensor was successfully developed and characterized.

전류를 조절하는 정류 다이오드는 스위칭 장치로써 저항형 메모리나 능동형 시스템과 같은 차세대 소자에 적용되며 각광받아왔다. 특히, 금속-절연체-산화물 반도체 구조의 다이오드는 좋은 안정성과 정류 특성 때문에 최근에 많이 연구되고 있다. 본 연구에서는 원자층 증착법을 활용한 금속-산화물 반도체-절연체 다이오드를 개발하여, $10^8$ 에 달하는 높은 온오프 특성과 오프상태에서 $10^{-9} A/cm^2$ 의 낮은 전류 밀도, 그리고 환경적 전기적 안정성을 확보하였다. 또한, 다양한 화학적 전기적 접근을 통해 다이오드의 전류 흐름 매커니즘에 관하여 심도있게 연구를 수행하였다. 더 나아가 이러한 다이오드를 사용하여 웨어러블 시스템에 적용될 수 있는 능동형 플랫폼을 만들고자 하였고, 저항방식의 마이크로피라미드를 활용한 웨어러블 능동형 압력센서를 성공적으로 개발하였다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {DMS 20037
형태사항 x, 102 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 염혜인
지도교수의 영문표기 : Sang-Hee Park
지도교수의 한글표기 : 박상희
수록잡지명 : "High mobility polycrystalline indium oxide thin-film transistors by means of plasma-enhanced atomic layer deposition". Journal of Materials Chemistry C, v.4, pp.6873-6880(2016)
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과,
서지주기 References : p. 95-102
주제 Oxide semiconductor
Atomic layer deposition method
Diode
Pressure sensor
Active-matrix
wearable device
산화물 반도체
원자층 증착법
다이오드
압력센서
능동형 매트릭스
웨어러블 소자
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