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Behavior analysis of overhead hoist transport vehicles for track layout design in semiconductor fabs = 반도체 팹의 트랙 레이아웃 설계를 위한 대차 행동분석
서명 / 저자 Behavior analysis of overhead hoist transport vehicles for track layout design in semiconductor fabs = 반도체 팹의 트랙 레이아웃 설계를 위한 대차 행동분석 / Jun-Hui Lee.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2020].
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8035776

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학술문화관(도서관)2층 패컬티라운지(학위논문)

MIE 20009

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초록정보

To operate a semiconductor manufacturing system efficiently, modern fabs have widely adopted the Automated Material Handling System (AMHS). This thesis addresses the track layout design for overhead hoist transport (OHT) system. The efficiency of a routing algorithm is affected by the track layout, and already there is plenty of research regarding the track layout design supporting routing algorithms. However, there is no research regarding the track layout design supporting Q-routing (Hwang & Jang 2019), which is a routing algorithm with remarkable performance. In this thesis, we conduct a high-fidelity simulation experiment to analyze the behavior of OHT vehicles in several track configurations. Finally, we suggest insights for the track layout design supporting Q-routing.

반도체 제조 시스템의 효율적인 운영을 위해 대부분의 반도체 팹에서는 자동 반송 시스템을 도입하여 운영하고 있다. 본 학위 논문은 자동 반송 시스템인 overhead hoist transport (OHT) 시스템의 트랙 레이아웃 설계를 다룬다. 경로 탐색 알고리즘의 효용은 트랙 레이아웃 설계에 영향을 받으며, 경로 탐색 알고리즘을 고려한 트랙 레이아웃 설계 관련 연구가 많이 있다. 하지만, 최근 가장 좋은 성능을 보이는 동적 경로 탐색 알고리즘인 Q-routing (Hwang & Jang 2019)을 고려한 트랙 레이아웃 설계 관련 연구는 전무하다. 본 학위 논문에서는 Q-routing 알고리즘을 여러 트랙 형태에서 시뮬레이션을 통해 분석하고, 트랙 레이아웃 설계를 위한 아이디어를 제공하고자 한다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MIE 20009
형태사항 iii, 22 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 이준희
지도교수의 영문표기 : Young Jae Jang
지도교수의 한글표기 : 장영재
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과,
서지주기 References : p. 19-20
주제 Semiconductor
AMHS
Track layout design
OHT vehicle
Dynamic routing
반도체
자동 반송 시스템
트랙 레이아웃 설계
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