To operate a semiconductor manufacturing system efficiently, modern fabs have widely adopted the Automated Material Handling System (AMHS). This thesis addresses the track layout design for overhead hoist transport (OHT) system. The efficiency of a routing algorithm is affected by the track layout, and already there is plenty of research regarding the track layout design supporting routing algorithms. However, there is no research regarding the track layout design supporting Q-routing (Hwang & Jang 2019), which is a routing algorithm with remarkable performance. In this thesis, we conduct a high-fidelity simulation experiment to analyze the behavior of OHT vehicles in several track configurations. Finally, we suggest insights for the track layout design supporting Q-routing.
반도체 제조 시스템의 효율적인 운영을 위해 대부분의 반도체 팹에서는 자동 반송 시스템을 도입하여 운영하고 있다. 본 학위 논문은 자동 반송 시스템인 overhead hoist transport (OHT) 시스템의 트랙 레이아웃 설계를 다룬다. 경로 탐색 알고리즘의 효용은 트랙 레이아웃 설계에 영향을 받으며, 경로 탐색 알고리즘을 고려한 트랙 레이아웃 설계 관련 연구가 많이 있다. 하지만, 최근 가장 좋은 성능을 보이는 동적 경로 탐색 알고리즘인 Q-routing (Hwang & Jang 2019)을 고려한 트랙 레이아웃 설계 관련 연구는 전무하다. 본 학위 논문에서는 Q-routing 알고리즘을 여러 트랙 형태에서 시뮬레이션을 통해 분석하고, 트랙 레이아웃 설계를 위한 아이디어를 제공하고자 한다.
