서지주요정보
Patterning of vapor phase deposited polymer dielectric thin film for organic integrated circuits = 기상 증착 고분자 절연 박막의 패터닝과 이를 통한 유기 회로 구현
서명 / 저자 Patterning of vapor phase deposited polymer dielectric thin film for organic integrated circuits = 기상 증착 고분자 절연 박막의 패터닝과 이를 통한 유기 회로 구현 / Hongkeun Park.
저자명 Park, Hongkeun ; 박홍근
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2020].
Online Access 원문보기 원문인쇄

소장정보

등록번호

8035344

소장위치/청구기호

학술문화관(도서관)2층 패컬티라운지(학위논문)

DCBE 20006

휴대폰 전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

리뷰정보

초록정보

Organic electronics has been spotlighted for the next generation electronic devices due to the advantages in flexibility, lightweightness and various form-factors. Most research is focused on the improvement in performance of the ogranic semiconductor based devices due to its inferior mobility compared to the conventional silicon semiconductor. However, there are lack of research in the organic semiconductor based integrated circuits and related technology, because the organic materials have poor robustness in chemical and thermal stress. In this thesis, the polymer dielectric layers werer patterned while initiated chemical vapor deposition (iCVD) process, to fabricated organic integrated circuits and to suggest a novel interconnection and device scheme.

유기 전자 소자는 기존의 실리콘 반도체 기반의 전자분야와 다르게 가볍고, 유연하고, 다양한 폼팩터 등으로 차세대 전자 소자 분야에서 각광 받는 분야이다. 다른 반도체 물질에 비교하여 부족한 이동도와 같은 성능적인 측면에서 이를 개선하고자 하는 연구는 많이 진행되어 왔으나, 실제 이러한 유기 물질 기반의 단위 소자를 기반으로 하여 회로를 구성하는 연구는 적었다. 이는 화학적, 열적 요소에 약한 유기 반도체 물질에 적합한 공정 기술 부족으로 인한것으로, 본 학위 논문에서는 개시제를 이용한 화학적 기상 증착법을 이용하여, 유기 반도체에 고분자 절연막을 패턴, 증착하여 유기 회로를 구현하는 연구를 다루고자 한다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {DCBE 20006
형태사항 viii, 80 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 박홍근
지도교수의 영문표기 : Sung Gap Im
지도교수의 한글표기 : 임성갑
수록잡지명 : "Highly stacked 3D organic integrated circuits with via-hole-less multilevel metal interconnects". Nature communications, 10, 2424(2019)
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 생명화학공학과,
서지주기 Including references.
주제 Organic electronics
Initiated chemical vapor deposition
Dielectric layer
patterning
Organic integrated circuits
유기 전자
기상 증착 고분자
절연막
패터닝
유기 집적회로
QR CODE qr code