Since the sensing technology combines the communication function in the era of the 4th industrial revolution, the sensor market has been growing rapidly as it has been widely used in many application fields such as industries, health care and home. As the one of leading technology, the high-performance gas sensors have been developed with advanced nanotechnology. Especially, metal oxide semiconductor based chemiresistors have been attracted due to its easy fabrication, miniaturization and possibility of easily combining in the devices as candidates for IoT sensor. In this thesis, ultra-sensitive gas sensors have been developed by unique morphology of high-resolution p-type CuO nanopattern and electronic/chemical sensitization of noble metal nanoparticles.
4차 산업 혁명시대의 센서기술은 통신기능의 결합과 함께 산업체뿐만 아니라 의료, 환경, 가정 등 다양한 분야에서 활용도가 넓어지면서 센서 시장의 규모도 점차 커질 것으로 예상된다. 4차 산업 혁명을 선도할 핵심 기술 중 하나로 무색, 무취의 유해 가스를 감지할 수 있는 가스 센서는, 나노 기술의 발전으로 독특한 물리화학적인 특성을 가진 나노 소재를 이용하여 고성능 가스 센서의 개발이 이뤄지고 있다. 대표적으로 금속산화물을 기반으로한 반도체식 가스센서는 다른 기기와 연동이 쉽고 소형화가 가능하다는 장점으로 초고감도의 가스센서 개발에 대한 수요가 늘고 있다. 본 학위 논문에서는 p-형 구리산화물의 고해상도 나노패턴의 구조적인 특성과 금속 촉매입자의 화학적인 특성을 이용하여 초고감도 가스센서를 개발하는 연구에 대하여 기술하고 있다.
