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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 (A) study on channel shortening effect of BCE structured oxide thin film transistor depending on the active and source/drain materials = 엑티브 및 소스/드레인 재료에 따른 백 채널 에치 구조 산화물 박막 트랜지스터의 채널 쇼트닝 효과에 대한 연구 / Seong-Jae Kim.
저자명 Kim, Seong-Jae ; 김성재
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2019].
online access
Online Access /thesis_pdf_02/2019/2019M02017...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8033695 학술문화관(도서관)2층 패컬티라운지(학위논문)
MMS 19011  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 iv, 37 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 김성재
지도교수의 영문표기 : Sang-Hee Park
지도교수의 한글표기 : 박상희
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과,
서지주기 Including references
주제 Oxide semiconductor
postannealing
In-Sn-Zn-O
channel Shortening Phenomenon
diffusion
산화물 반도체
후-열처리
인듐-틴-징크-옥사이드
채널 쇼트닝 현상
확산
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