To run fab efficiently, most fab contained and ran the automated material handling systems. OHT is one of the common way of the automated delivery system. OHT consists of vehicles which carry the foup and rail which OHT vehicles pass by. We can improve the productivity of the whole system by giving OHT vehicles the efficient route considered the congestion. As fab facilities follows the schedule, we suggests the routing method by calculating and predicting the movements of the OHT vehicles and congestion behavior. Furthermore we tests this predictive routing method with other methods.
반도체 제조시설의 효율성을 위해 대부분 물류 자동화 시스템을 도입하여 운영하고 있다. OHT는 반도체 공장에서 활용되는 기본적인 형태의 자동 반송 시스템이다. OHT는 대차가 작업물을 들고 제조 라인 위에 설치된 경로를 따라 자율적으로 이동하는 방식으로 운영된다. OHT가 장비들 사이를 이동하는데 혼잡 상황을 고려해 효율적인 경로를 주면 전체 시스템의 생산성이 향상될 것이다. 잘 짜인 스케줄에 따라 운영되는 반도체 공정 특성상 본 학위 논문에서는 작업 스케줄을 통해 각 대차의 앞으로의 움직임을 계산 및 혼잡 상황을 예측하고 효율적인 경로를 찾는 방법을 제안한다. 그리고 과거의 추세를 통해 앞으로의 움직임을 예측하는 다른 문헌에 등장한 방법들과 비교, 분석해 보았다.
