Silver nanowire films are promising alternatives to tin-doped indium oxide (ITO) films as transparent conductive electrodes. A patterning process is required to apply a nanowire-based transparent electrode to electronic devices. In this paper, we report the optical property change of silver nanowire transparent electrodes by laser patterning process. We discovered that, when silver nanowires were removed by IR pulsed lasers, their optical properties were changed. The optical property change was caused by the light absorption of silver nanoparticles remaining on the surface. It was analyzed that the nanowires were not sufficiently vaporized during IR laser irradiation, so that they were changed into particles. In the case of using an excimer laser source for patterning, the nanoparticles did not remain on the surface due to complete vaporization of silver nanowires, since silver has high absorption coefficient at the wavelength of excimer laser. As a result, patterning of the nanowires without optical deterioration could be obtained.
은 나노와이어 박막은 투명 전도성 전극으로서 인듐주석산화물(ITO)층를 대체할만한 유망한 대안 중의 하나이다. 은 나노와이어 기반 투명전극을 전자소자에 응용하기 위해서는 패터닝 공정이 요구된다. 본 논문에서는 레이저 패터닝 공정에 의한 은 나노와이어 투명 전극의 광학 특성 변화를 보고한다. 은 나노와이어를 IR 레이저로 제거할 경우, 광학적으로 변질되는 문제를 발견하였다. 광학적 변질의 원인은 표면에 잔류해있는 은 나노입자의 광 흡수에 의한 것을 확인하였다. 이 은나노입자는 IR 레이저 집속 및 조사시 나노와이어가 충분한 기화되지 못하고 입자로 변화되어있는 것으로 분석되었다. 은의 흡수율이 높은 파장대의 엑시머 광원을 이용하여 패터닝하는 경우 은 물질의 기화로 인하여 은 나노입자가 표면에 잔류하지 않았다. 그 결과, 광학적 특성이 좋은 패터닝이 얻을 수 있었다.