서지주요정보
Proposal, verification, and analysis of magnetic field shielding effectiveness measurement (MSEM) methodology for vertical and lateral magnetic fields = 수직 및 측면 자기장을 위한 자기장 차폐 효과 측정 방법론의 제안, 증명 및 분석
서명 / 저자 Proposal, verification, and analysis of magnetic field shielding effectiveness measurement (MSEM) methodology for vertical and lateral magnetic fields = 수직 및 측면 자기장을 위한 자기장 차폐 효과 측정 방법론의 제안, 증명 및 분석 / Kyunghwan Song.
저자명 Song, Kyunghwan ; 송경환
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2018].
Online Access 원문보기 원문인쇄

소장정보

등록번호

8032861

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

MPD 18006

휴대폰 전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

초록정보

Semiconductor package technology is increasingly demanding high density, and EMI problems between chip and chip are getting worse. In particular, various shielding materials and technologies are applied to solve the magnetic field noise coupling occurring between semiconductor chips. In the case of magnetic field shielding, the principle of shielding changes depending on the material and the direction of the magnetic field formed on the shielding film. However, the directionality of the magnetic field was not considered in the conventional shielding effectiveness measurement methods. In this paper, we propose a magnetic field shielding effectiveness measurement methodology for vertical and lateral magnetic fields and compare the proposed method with 3D EM simulation and conventional measurement methods. In addition, we verify the necessity of the shielding effectiveness measurement methodology according to the direction of the magnetic field by comparing the shielding effectiveness measurement between the metal material and the ferromagnetic material.

반도체 패키지 술은 점차 High density를 요구하고 있으며, 이에 따라 Chip 과 Chip 사이에 발생하는 EMI 문제가 심화되고 있다. 특히 반도체 Chip 사이에 발생하는 자기장 Noise Coupling 문제를 해결하기 위해 다양한 차폐 막 형성 기술이 존재하며 금속 뿐만 아니라 강자성체 물질 등 다양한 물질이 시도 되고 있다. 이때 자기장 차폐의 경우 물질에 따라 그리고 차폐 막에 형성되는 자기장의 방향에 따라 차폐 원리가 달라지게 된다. 그러나 기존의 차폐 효과 측정 방법에서는 이러한 자기장의 방향성이 고려가 되지 않았다. 이 논문에서는 수직 자기장과 측면 자기장을 위한 차폐 효과를 측정할 수 있는 방법론을 제시하며 제시한 측정 방법을 3D EM 시뮬레이션 및 다른 측정 방법과의 비교를 통한 검증을 진행하였다. 또한 금속 물질과 강자성체 물질 간의 차폐 효과 측정 비교를 통해 자기장의 방향성에 따른 차폐 효과 측정 방법론에 대한 필요성을 증명하였다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPD 18006
형태사항 iv, 36 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 송경환
지도교수의 영문표기 : Joungho Kim
지도교수의 한글표기 : 김정호
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 미래자동차학제전공,
서지주기 References : p. 33
주제 Shielding effectiveness
vertical magnetic field
lateral magnetic field
sputtering
metal
ferromagnetic material
차폐 효과
수직 자기장
측면 자기장
스퍼터링
금속
강자성체
QR CODE qr code