With the increasing demand for future electronic devices, organic electronics such as organic light-emitting diodes is emerging owing to its unique advantages such as flexibility, thinness, and light weight. However, organic electronics degrade rapidly upon exposure to water vapor and oxygen in ambient condition. In this thesis, thin film encapsulation that protects the organic electronics from penetration of water vapor and oxygen are investigated. Initiated chemical vapor deposition was adopted along with atomic layer deposition process to fabricate the thin film encapsulation composed of organic/inorganic multilayer. The thin film encapsulation was applied to various organic electronics to confirm the increase in stability and elongation of device life time.
미래형 전자 소자의 개발 수요가 늘어남에 따라 유기발광 다이오드 등의 유기 전자 소자가 유연성, 얇은 두께 및 가벼운 무게 등의 장점에 힘입어 이상적인 후보로 떠오르고 있다. 하지만 유기 전자 소자는 대기 노출 시 수분 및 산소에 의해 급격히 성능이 저하된다는 치명적인 단점을 가지고 있다. 본 학위논문에서는 유기 전자 소자를 수분 및 산소로부터 보호해줄 수 있는 박막 봉지 개발에 대한 연구를 다루고 있다. 개시제를 이용한 화학 기상 증착 공정을 원자층 증착 공정과 접목하여 유/무기 다층막으로 이루어진 박막 봉지를 제작하였다. 두 공정이 하나의 챔버에서 가능하게끔 설비하고 공정 조건의 최적화 과정을 통하여 박막 봉지 제작 시 공정성의 향상을 이루었다. 또한, 다양한 소자에 박막 봉지를 적용하여서 안정성 향상 및 수명 연장 효과를 확인하였다.
