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Fabrication of thin film encapsulation for organic electronic devices via initiated chemical vapor deposition (iCVD) = 개시제를 이용한 화학 기상 증착 공정을 활용한 유기전자소자용 박막 봉지 기술 개발
서명 / 저자 Fabrication of thin film encapsulation for organic electronic devices via initiated chemical vapor deposition (iCVD) = 개시제를 이용한 화학 기상 증착 공정을 활용한 유기전자소자용 박막 봉지 기술 개발 / Bong Jun Kim.
저자명 Kim, Bong Jun ; 김봉준
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2017].
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초록정보

With the increasing demand for future electronic devices, organic electronics such as organic light-emitting diodes is emerging owing to its unique advantages such as flexibility, thinness, and light weight. However, organic electronics degrade rapidly upon exposure to water vapor and oxygen in ambient condition. In this thesis, thin film encapsulation that protects the organic electronics from penetration of water vapor and oxygen are investigated. Initiated chemical vapor deposition was adopted along with atomic layer deposition process to fabricate the thin film encapsulation composed of organic/inorganic multilayer. The thin film encapsulation was applied to various organic electronics to confirm the increase in stability and elongation of device life time.

미래형 전자 소자의 개발 수요가 늘어남에 따라 유기발광 다이오드 등의 유기 전자 소자가 유연성, 얇은 두께 및 가벼운 무게 등의 장점에 힘입어 이상적인 후보로 떠오르고 있다. 하지만 유기 전자 소자는 대기 노출 시 수분 및 산소에 의해 급격히 성능이 저하된다는 치명적인 단점을 가지고 있다. 본 학위논문에서는 유기 전자 소자를 수분 및 산소로부터 보호해줄 수 있는 박막 봉지 개발에 대한 연구를 다루고 있다. 개시제를 이용한 화학 기상 증착 공정을 원자층 증착 공정과 접목하여 유/무기 다층막으로 이루어진 박막 봉지를 제작하였다. 두 공정이 하나의 챔버에서 가능하게끔 설비하고 공정 조건의 최적화 과정을 통하여 박막 봉지 제작 시 공정성의 향상을 이루었다. 또한, 다양한 소자에 박막 봉지를 적용하여서 안정성 향상 및 수명 연장 효과를 확인하였다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {DCBE 17028
형태사항 x, 146 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 김봉준
지도교수의 영문표기 : Sung Gap Im
지도교수의 한글표기 : 임성갑
수록잡지명 : "A thin film encapsulation layer fabricated via initiated chemical vapor deposition and atomic layer deposition". Journal of Applied Polymer Science, v.131.no.24, pp.40974(2014)
수록잡지명 : "A monolithic integration of robust, water-/oil-repellent layer onto multilayer encapsulation films for organic electronic devices". RSC Advances, v.5.no.84, pp.68485-68492(2015)
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 생명화학공학과,
서지주기 Including references.
주제 initiated chemical vapor deposition (iCVD)
atomic layer deposition (ALD)
thin film encapsulation (TFE)
barrier film
water vapor transmission rate (WVTR)
개시제를 이용한 화학 기상 증착 공정
원자층 증착 공정
박막 봉지
봉지막
수분투과율
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