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광위상 간섭을 이용한 기계 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상 = Real-time measurement and correction of movement errors of a machine axis by twyman-green interferometry
서명 / 저자 광위상 간섭을 이용한 기계 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상 = Real-time measurement and correction of movement errors of a machine axis by twyman-green interferometry / 이형석.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1994].
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DPE 94013

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초록정보

This paper presents a real-time correction method of the movement errors of a translatory precision machine axis. This method is a null-balance technique in which two plane mirrors are used to generate an interferometric fringe pattern utilizing the optical principles of Twyman-Green interferometry. One mirror is fixed on a reference frame, while the other is placed on the machine axis being supported by three piezoelectric actuators. From the fringe pattern, one translatory and two rotational error components of the machine axis are simultaneously detected by using CCD camera vision and image processing techniques. These errors are then independently suppressed by activating the peizoelectric actuators by real-time feedback control while the machine axis is moving. Experimental results demonstrate that a machine axis can be controlled with movement errors less than 10nm in vertical straightness, 0.1arcsec in pitch, and 0.08arcsec in roll for 50mm travel by adopting the real-time correction method.

서지기타정보

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청구기호 {DPE 94013
형태사항 xiii, 136 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Hyung-Seok Lee
지도교수의 한글표기 : 김승우
지도교수의 영문표기 : Seung-Woo Kim
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 정밀공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 129-136
주제 Image processing.
Real-time control.
Piezoelectric ceramics.
간섭계. --과학기술용어시소러스
광학적 측정. --과학기술용어시소러스
화상 처리. --과학기술용어시소러스
압전 소자. --과학기술용어시소러스
실시간 처리. --과학기술용어시소러스
Laser interferometers.
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