서지주요정보
다결정 Zinc oxide 박막 가스센서에 관한 연구 = A study on the thin polycrystalline ZnO film gas sensors
서명 / 저자 다결정 Zinc oxide 박막 가스센서에 관한 연구 = A study on the thin polycrystalline ZnO film gas sensors / 김영규.
저자명 김영규 ; Kim, Young-Gue
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1993].
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8003830

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MEM 93020

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초록정보

The characteristics of sputterd Zinc Oxide film as a $H_2$, CO gas detector were studied. Their geometrical factors and electrical factors were measured by XRD(X-ray diffractometers), SEM(Scanning Electron Microscopy) and Hall Measurement, the effects of geometrical factors and electrical factors to gas detection ability were analyzed. As a result, their electron transport mechanisms are characterized by thermally assisted electron mobility and their detection ability is higher for CO four times than that of $H_2$.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MEM 93020
형태사항 [ii], 61 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Young-Gue Kim
지도교수의 한글표기 : 박종욱
지도교수의 영문표기 : Chong-Ook Park
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전자재료공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 57-58
주제 Sputtering (Physics)
Detectors.
박막. --과학기술용어시소러스
가스 센서. --과학기술용어시소러스
다결정. --과학기술용어시소러스
Polycrystalline.
Electronic properties.
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