서지주요정보
수은 감응 Photo-CVD 로 증착한 비정질 규소 탄소 합금의 특성에 관한 연구 = Properties of hydrogenated amorphous silicon carbon alloys deposited by mercury sensitized photo-CVD
서명 / 저자 수은 감응 Photo-CVD 로 증착한 비정질 규소 탄소 합금의 특성에 관한 연구 = Properties of hydrogenated amorphous silicon carbon alloys deposited by mercury sensitized photo-CVD / 최광열.
저자명 최광열 ; Choi, Kwang-Yeol
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1991].
Online Access 제한공개(로그인 후 원문보기 가능)원문

소장정보

등록번호

8001794

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

MAP 9125

SMS전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

초록정보

The hydrogenated amorphous silicon carbon alloys(a-SiC:H) have been prepared by mercury sensitized photo-CVD of silane-acetylene mixture. We have studied the electical and optical properties of a-SiC:H in the various conditions i.e., substrate temperature, total pressure, hydrogen dilution, and carbon incorporation. As substrate temperature increases, optical gap and activation energy decrease, but photoconductivity of the samples increases. As total pressure or carbon incorporation increases wider optical gap and lower photoconductivity are obtained. The optical gap of samples prepared in hydrogen dilution condition increases as dilution ratio increases, but the photoconductivity of samples increases slightly. IR absorption spectra show that electrical property of the samples is related to $Si-CH_3$ bonding. A photoconductivity of 9.65×$10^{-9}$ ($\Omega^{-1}cm^{-1}$) was obtained for undoped a-SiC:H with optical gap of about 2.0eV.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MAP 9125
형태사항 [ii], 37 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Kwang-Yeol Choi
지도교수의 한글표기 : 김주천
지도교수의 영문표기 : Choo-Chon Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 36-37
주제 Amorphous semiconductors.
Silicon.
Vapor-plating.
Carbon.
Mercury.
수소화. --과학기술용어시소러스
비정질 반도체. --과학기술용어시소러스
화학 증착. --과학기술용어시소러스
규소. --과학기술용어시소러스
탄소 함유 합금. --과학기술용어시소러스
수은. --과학기술용어시소러스
Hydrogenation.
QR CODE qr code