서지주요정보
위상 광간섭을 이용한 3차원 표면형상 측정 알고리즘에 관한 연구 = Three dimensional surface measurement algorithm based on phase measuring interferometry
서명 / 저자 위상 광간섭을 이용한 3차원 표면형상 측정 알고리즘에 관한 연구 = Three dimensional surface measurement algorithm based on phase measuring interferometry / 박현구.
저자명 박현구 ; Park, Hyun-Goo
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1990].
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8000562

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MPE 9008

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초록정보

This study concerns with the topographical profile measurement for mirror surfaces based upon an optical technique called the phase measuring interferometry. A practical measuring principle has been established with an aim to realizing in-process measurement with nanometer resolution. Main emphasis has been given to developing a general computer algorithm which can derive three dimensional surface profiles from interference fringe patterns formed by phase interferometry. As a result, an effective algorithm is suggested in this study and its validity has been proved through a series of computer simulation.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPE 9008
형태사항 iii, 66 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Hyun-Goo Park
지도교수의 한글표기 : 김승우
지도교수의 영문표기 : Seung-Woo Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 생산공학과,
서지주기 참고문헌 수록
주제 Real-time data processing.
Relief models.
Optical measurements.
Diffraction patterns.
형상 측정. --과학기술용어시소러스
간섭 무늬. --과학기술용어시소러스
실시간 처리. --과학기술용어시소러스
레이져 시스템. --과학기술용어시소러스
간섭성. --과학기술용어시소러스
Interferometry.
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