Nowadays, many studies about flexible OLEDs are conducted to apply it for focused IT technologies such as IOT, mobile healthcare or smart devices. However, OLEDs are easily degraded by oxygen or water vapor. For this reason, we developed flexible multi-layer passivation barrier for OLEDs. Thin film multi-barrier was fabricated by alternative stacking of nanolaminate and organic layer. The nanolaminate contains $Al_2O_3$ as water vapor blocking film, and MgO deposited alternatively with $Al_2O_3$. MgO accomplished a roll of water vapor storing film. We fabricated ultrathin 1nm $Al_2O_3$ /MgO nanolaminate structure by using ALD. Then we developed hybrimer layer above the nanolaminate by using spin coating method. 2.5 dyads multi-barrier of total thickness 290nm indicated WVTR of $4.81×10^{-5}g/m^2/day$. We conducted bending test for the multi-barrier about 1000 time iteration at 3cm bending radius. After the test, the multi-barrier still had WVTR of $7.85×10^{-5}g/m^2/day$. Therefore we confirmed compatibility of the barrier as passivation layer for flexible display. We encapsulated OLED by using our multi-barrier, and the passivated OLED indicated same electrical property with not encapsulated one. After storing 4 days at 30℃, 90% R.H., there was no striking change in cell image of the passivated OLED.
최근 IOT, 휴대용 의료 디바이스, 스마트 기기 등에 적용 가능한 유연한 유기발광소자에 대한 개발이 적극적으로 이루어지고 있다. 유기발광소자는 플렉시블 디스플레이에 적용하기에 많은 장점을 가지고 있지만 수분 및 산소에 취약하다는 단점이 있다. 본 연구에서는 유기발광소자에 적용 가능한 유연한 다층 봉지막을 개발하고자 하였다. 박막 특성이 우수한 Al2O3 및 수분 저장능력을 가진 MgO 나노라미네이트 구조를 hybrimer 유기물 층과 함께 적층한 multi-barrier 형태를 이용하였다. ALD를 이용하여 각각 1nm 두께의 초박막 Al2O3/MgO 나노라미네이트 구조가 포함된 multi-barrier를 제작하였다. 총 두께 290nm의 2.5 dyad multi-barrier는 1.69 × 10-5g/m2/day의 WVTR 특성을 나타내었으며 bending radius 3cm, 1000회 반복의 bending test 이후에도 7.85 × 10-5g/m2/day로 유사한 성능을 보여 플렉시블 봉지막으로서 적합하였다. 또한 본 봉지막으로 유기발광소자를 박막봉지하여 봉지 전후 전기적 특성에 차이가 없고 봉지된 소자를 4일 동안 30℃, 90% R.H의 항온항습 환경에 보관후 cell image에 큰 변화가 없음을 확인하였다.
