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보상된 비정질 규소의 열평형과정에 관한 연구 = Thermal equilibration processes in compensated amorphous silicon films
서명 / 저자 보상된 비정질 규소의 열평형과정에 관한 연구 = Thermal equilibration processes in compensated amorphous silicon films / 이남석.
저자명 이남석 ; Lee, Nam-Seok
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1990].
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8000522

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초록정보

The fast cooling effects on compensated amorphous silicon films have been studied. For ($PH_3=5000ppm$, $B_2H_6=500ppm$) compensated films, the dark conductivity is increased after fast cooling, and the excess dark conductivity relaxes slowly in the form of stretched exponential function. For (500,500) compensated films, the dark conductivity is not increased after fast cooling. Thermal equilibration processes in compensated amorphous silicon films are discussed mainly through hydrogen motions. It is concluded, therefore, that (5000,500) compensated films have the electronic properties similar to n-type films and (500,500) compensated films have the electronic properties similar to undoped amorphous films.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MAP 9016
형태사항 [ii], 38 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Nam-Seok Lee
지도교수의 한글표기 : 이주천
지도교수의 영문표기 : Choo-Chon Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 36-38
주제 Silicon.
Thin films.
Thermal equilibrium.
비정질 반도체. --과학기술용어시소러스
규소. --과학기술용어시소러스
박막. --과학기술용어시소러스
열 평성. --과학기술용어시소러스
Amorphous semiconductors.
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