Along with the scaling down of various applications such as microfluidics and electronic devices, adhesive film also need to be scale down, with high controllability and stability. Various method is reported to achieve strong adhesion, still has problems about process time, systematic limitation, and thickness control. In this study, thin adhesive layer is developed via initiated chemical vapor deposition (iCVD). Poly(glycidyl methacrylate) (pGMA) and poly(2-(dimethylamino)ethyl methacrylate) (pDMAEMA) are deposited on the substrate, and ring opening reaction which is very well known as a strong adhesion, is achieved in hundred nanometer scales. Every polymer film is deposited with one system, iCVD, in mild condition. With this adhesive system, strong adhesion strength near to $300 N/cm^{2}$ has been achieved, with high resistive to organic solvents and high temperature. With the new material selection, process time is dramatically shortened compared to previous works. Proper optical properties are confirmed for the compatibility for optical devices. For the application, lamination of encapsulation layer using iCVD adhesive film is performed, and achieved $2.94x10^{-2} g m^{-2} day^{-1}$ value of water vapor transmission rate
최근 마이크로플루이딕 장비와 전자 장비 등 다양한 응용분야들이 규모의 축소를 시행함에 따라, 이에 쓰이는 접착물질도 그 규모의 축소를 필요로 한다. 다양한 연구들을 통해 강한 접착물질이 제시되었지만, 여전히 공정시간, 공정상의 문제점, 그리고 미세한 두께 조절 등에 문제가 있다. 이 연구에서는 이러한 문제들을 해결하기 위해 개시제를 이용한 화학적 기상증착공정 (iCVD)을 통해 접착용 초박을 개발하였다. 에폭시기를 지닌 poly(glycidyl methacrylate) (pGMA)와 아민기를 지닌 poly(2-(dimethylamino)ethyl methacrylate) (pDMAEMA)가 연속되는 적층 구조로 증착되었고, 잘 알려진 에폭시 아민 반응을 통해 100나노미터 아래의 두께에서 강력한 접착력을 확보하였다. 모든 고분자들이 온화한 조건의 iCVD 한 가지 시스템으로 증착되었다. 또한 이 접착 시스템은 $300 N/cm^{2}$ 수준의 뛰어난 단위면적 당 전단력을 지님을 확인되었고, 또한 다양한 유기 용제와 높은 온도에서 뛰어난 저항력을 지님이 확인되었다. 새로운 물질을 선정함으로써 기존에 제시되었던 방법들과 비교했을 때 인상적인 공정시간의 감소를 확인할 수 있었다. 추가적으로 광학 장비에 도입하기 위해 적합한 광학적 특성인 굴절률과 투과율이 확인되었다. 이 균일하고 건조한 접착박막을 통하여 봉지막 부착을 진행하였고, 그 결과 $2.94x10^{-2} g m^{-2} daya^{-1}$ 수준의 수증기 투과 비율을 확인하였다.
