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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 화학증착법에 의해 제조된 Blanket 및 selective 텅스텐박막의 물성에 관한 연구 = The study on the properties of blanket and selective tungsten prepered by CVD / 박영욱.
저자명 박영욱 ; Park, Young-Wook
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1991].
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서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8001673 학술문화관(문화관) 보존서고
DMS 9103  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 v, 106 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Young-Wook Park
지도교수의 한글표기 : 천성순
지도교수의 영문표기 : Soung-Soon Chun
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 재료공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 103-106
주제 Orientation
Residual stresses
화학 증착 --과학기술용어시소러스
텅스텐 --과학기술용어시소러스
우선 방위 --과학기술용어시소러스
잔류 응력 --과학기술용어시소러스
Tungsten
Chemical vapor deposition
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