서지주요정보
자기부상 스테이지에서의 속도리플 향상을 위한 모델링 개선 및 제어 알고리즘에 관한 연구 = A study on development of modeling and control algorithm to reduce velocity ripple for magnetic levitation stage
서명 / 저자 자기부상 스테이지에서의 속도리플 향상을 위한 모델링 개선 및 제어 알고리즘에 관한 연구 = A study on development of modeling and control algorithm to reduce velocity ripple for magnetic levitation stage / 박세훈.
저자명 박세훈 ; Park, SeHoon
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2015].
Online Access 원문보기 원문인쇄

소장정보

등록번호

8027376

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

MME 15012

휴대폰 전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

초록정보

The magnetic levitation (Maglev) stage is widely used in semiconductor process and inspection of wafer or LCD needing high precision motion control. Because of development of these technologies, high specifications such as fast velocity, high precision and long range motion are required. To accomplish high precision, we apply a new modeling of coil and design a control scheme to reduce system disturbance that includes unavoidable force ripple. The force ripple hinder scanning performance of the stage for the semiconductor industries. The new model of coil is much closer to the FEM result than the former model, which is based on cylindrical coordinate. Also, the recursive least square estimation (RLSE) adaptive control method affect to reduce the position dependent force ripple. The stability of the RLSE controller is proved by looking in the convergence of parameters of adaptation rule in RLSE controller. The performance of the proposed controller for high precision motion tracking applications is verified by simulation using SIMULINK and experiment implemented by dSPACE controller.

자기부상스테이지는 반도체 산업의 리소그래피 공정과 LCD 제작 장비에서 많이 이용되는 장비로 높은 정밀도와 구동 제어가 필요하다. 특히 반도체 공정에서는 회로의 집적도를 높이기 위한 기술이 발전함에 따라 레이저의 분해능이 높아지고있다. 그에 따라 스테이지의 속도와 정밀도가 높아지고있고 구동 범위가 넓어지고 있다. 따라서 이러한 고정밀의 성능을 내기 위해서는 힘리플의 제거가 필요하다. 힘리플을 제거하기 위해 기존의 코일모델링을 원통 좌표계를 적용하여 새롭게 시스템을 모델링 하고 Recursive Least Square Estimation 적응 제어를 적용하여 속도에 따라 다르게 발생하는 힘리플을 완전히 제거하여 정밀도와 트레킹 성능을 높였다. 이 때 제어를 위해 matlab의 simulink 를 이용하였고 제어기로는 dspace 제어기를 사용하였다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MME 15012
형태사항 52 p : 삽도 ; 30 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : SeHoon Park
지도교수의 한글표기 : 권대갑
지도교수의 영문표기 : Dae Gab Gweon
부록 수록
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공,
서지주기 참고문헌 : p.
주제 자기부상스테이지
힘리플
속도리플
원통좌표
적응제어
maglev stage
force ripple
velocity ripple
cylindrical coordinates
RLSE
QR CODE qr code