서지주요정보
ECR (electron cyclotron resonance) -PECVD 방법으로 증착한 미세결정 규소박막의 특성에 관한 연구 = Characteristics of microcrystalline silicon prepared by ECR-PECVD
서명 / 저자 ECR (electron cyclotron resonance) -PECVD 방법으로 증착한 미세결정 규소박막의 특성에 관한 연구 = Characteristics of microcrystalline silicon prepared by ECR-PECVD / 김철세.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1992].
Online Access 제한공개(로그인 후 원문보기 가능)원문

소장정보

등록번호

8002565

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

MAP 92009

휴대폰 전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

리뷰정보

초록정보

The properties of μc-Si:H prepared by ECR-PECVD were studied. Amorphous to microcrystalline phase transition was occurred at the substrate temporature (Ts) above 100 ℃,and at the pressure above 2.4 mTorr. The grain size of μc-Si:H was larger as Ts was raised, but smaller as the microwave power was increased. Hydrogen dilution during deposition strongly affected the formation of microcrystal and the film growth. More conductive film was deposited at low pressure than at high pressure with increasing hydrogen dilution ratio. Structural and electical properties of μc-Si:H were changed largely by hydrogen etching effect.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MAP 92009
형태사항 [ii], 43 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Cheol-Se Kim
지도교수의 한글표기 : 이주천
지도교수의 영문표기 : Choo-Chon Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 42-43
주제 Silicon.
Thin films.
Cyclotron resonance.
화학 증착. --과학기술용어시소러스
ECR 이온원. --과학기술용어시소러스
규소. --과학기술용어시소러스
박막. --과학기술용어시소러스
Vapor-plating.
QR CODE qr code