Two models are developed for ECR plasma source stream in the diverging magnetic field. In the Analytic Model, the plasma equation for a collisionless plasma is formulated and solved analytically in the source region and sourceless region. In the Collisional Model, elastic scattering and charge exchange collisions between ions and neutrals in the downstream region are treated by Monte-Carlo method.
Through two models, the effects of the magnetic field and neutral gas pressure on the plasma potential and ion energy distribution are studied.
ECR 방전 장치에서 생성된 플라즈마가 기울어진 자기장을 따라 흘러가는 현상을 두가지 모델을 통하여 연구하였다. Analytic Model 에서는, 충돌이 없는 경우에 대하여 플라즈마 방정식을 세우고, 쏘스가 있는 영역과 없는 영역에서 이 방정식을 풀었다. Collisional Model 에서는, 이온과 중성기체의 전하교환 충돌과 탄성 충돌을 Monte-Carlo 방법으로 다루었다.
이 두가지 모델을 통하여, 자기장과 중성 기체의 압력이 플라즈마 전위와 이온의 에너지 분포에 미치는 영향을 연구하였다.
