Preventive maintenance activities perform important part in preventing unexpected failure and ensuring the reliability of the equipment. In the semiconductor manufacturing, preventive maintenance include many and complex tasks. According to the planning of PM, the cycle time and line performance are affected. In this paper a model is proposed that optimizes the new cycle of single PM and multiple PMs for minimizing cycle time with consideration of attached setups. This model consists of two parts. First, part is the queueing networks with sin-gle PM. Second part is the queueing networks with multiple PMs. The queueing networks are applied in the M/G/1-queue and G/G/m queue. The model is formulated as nonlinear programming problem with constraints. In order to solve this model, The matlab optimization toolbox is used. Since the model of G/G/m queue is ap-proximation, The optimal solution is not guaranteed. Thus, the results obtained have compared with a simulation model is made into the Arena 14.5 version and Opt quest.
어느 제조 산업일지라도, 예방 정비 활동은 중요한 역할을 수행한다. 잘 짜인 예방 정비 계획은 예기치 못한 고장 시간의 위험을 줄여주고, 계획된 정지 시간이 늘어나는 트레이드 오프 관계에서 장비 성능에 영향을 미친다. 따라서 예방 정비 활동은 잘 계획 되어야 한다. 이러한 예방 점검 계획은 특히 반도체 공정 산업에서도 중요한 활동이다. 반도체 장비들의 예방 정비를 어떻게 수행하느냐에 따라서 Wafer의 체재 시간이 영향을 받게 된다. 따라서 이 연구의 목적은 처음 반도체 공장 Fab으로부터 명시된 예방 점검 주기를 변경해보면서 Wafer의 체재 시간을 최소화하는 예방 점검 계획을 수립하는 것이다. Wafer의 체재 시간을 구하기 위해서는 대기 이론 모델의 M/G/1, G/G/m-queue의 체제 시간을 구하는 식을 사용한다. 각 모델이 주어졌을 때 단일 예방 정비가 존재할 때와 복수 예방 정비가 존재할 때의 경우를 각각 나눠서 문제를 해결해보았다. 예방 점검을 어떻게 변형하느냐에 따라서 두 가지 경우로 나뉘는데, 명시된 주기보다 더 자주 시행하는 경우를 Splitting case 그리고 덜 자주 시행하는 경우를 Aggregating case를 나눠 어떤 경우에 자주 시행하거나 덜 시행하는지에 대해서도 연구를 진행하였다. 이 연구는 반도체 산업뿐만 아니라 다른 제조 산업에서도 적용 가능하다고 생각이 되며, 향후 최적화된 예방 정비 계획을 토대로 더 자세한 예방 정비 스케줄링 연구로 발전시킬 것이다.
