We demonstrate a robust large area hierarchical nanopatterning process using self-assembling block copolymer. The nanoscale ordering in a block copolymer film was simply directed by imposing a microscale patterned structure. This hierarchical patterning process employing the two levels of spontaneous orderings represents a versatile pathway to control over nanoscale morphology by manipulating microscale architecture.
자기조립분자의 계층적 조직화는 다양한 기능성을 가진 복잡한 구조를 만들 수 있다. 이러한 현상은 자연계에서 빈번하게 나타남에도 불구하고, 계층적 조직화를 이용한 나노구조 제작방법은 아직 미지의 영역이다. 우리는 대면적 나노패터닝을 위한 새로운 방법으로써 ‘인위적으로 제어된 블록공중합체의 계층적 조직화’를 제시한다. 이렇게 리소그라피 공정이 필요없는 나노패터닝 기술은 마이크로 스케일의 구조를 제어함으로써 나노 스케일의 구조를 제어하는 매우 독창적인 원리를 제시한다.
