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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 CH_3OH 유도결합 플라즈마를 이용한 Magnetic Tunnel Junction 물질의 건식식각특성 연구 = Dry etching characteristics of magnetic tunnel junction materials in CH_3OH inductively coupled plasma system / 이민석.
저자명 이민석 ; Lee, Min-Suk
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2012].
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Online Access /thesis_pdf_02/2012/2012D02007...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8024516 학술문화관(문화관) 보존서고
DMS 12003  

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초록

상세 정보
형태사항 vii,116 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Min-Suk Lee
지도교수의 한글표기 : 이원종
지도교수의 영문표기 : Won-Jong Lee
수록잡지명 : "The effect of substrate temperature on the etching properties and the etched surfaces of magnetic tunnel junction materials in a CH_3OH inductively coupled plasma system". Applied Surface Science, (2012)
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 112-113
주제 메탄올
건식식각
유도결합 플라즈마
마그네틱 터널 정션
스핀트랜스퍼토크 자성메모리
CH_3OH
dry etch
inductively coupled plasma
magnetic tunnel junction
STT-MRAM
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