A vacuum sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube based on carbon nanotube field emitters has been demonstrated. The key point of miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube is miniaturization of quasi-monochromatic x-ray tube and one body system that means collimator and filter of quasi-monochromatic x-ray tube connect to vacuum sealed miniaturized monochromatic x-ray tube body. The diameter of the vacuum sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube is 10mm, the total length of the vacuum sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube is 48mm, and no extra vacuum pump is required for operating the vacuum sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube because getter is used to maintain high level vacuum inside vacuum sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube. The energy spectrum of x-ray generated from fabricated vacuum-sealed miniaturized quasi-monochromatic x-ray tube is measured at 40keV, 50keV respectively without Mo filter and with Mo filter that has thickness of 10㎛, 20㎛, 30㎛, 40㎛, 50㎛respectively. The x-ray energy spectrum without Mo filter includes broad bremsstrahlung x-rays with the energies up to 40keV and a few characteristic x-rays at 17.48 and 19.61keV that respectively correspond to Kα1 and Kβ1 of the Mo target. In the case of using Mo filter, bremsstrahlung x-rays below than 20.0keV of Mo k-edge energy is attenuated less than Mo k-edge energy. Bremsstrahlung x-ray above Mo k-edge energy is almost attenuated so ratio of characteristic x-ray(Kα) increase.
진공 밀봉된 준-단일파장 초소형 엑스선튜브를 개발하였다. 개발된 진공 밀봉된 준-단일파장 초소형 엑스선 튜브는 엑스선 튜브에 사용되는 필터와 콜리메이터를 결합하여 일체형의 초소형 엑스선튜브이다. 발된 진공 밀봉된 준-단일파장 초소형 엑스선 튜브는 직경 10밀리미터, 총 길이 48밀리미터로 작은 건전지 크기정도 이다. 내부 진공을 유지하기 위해 초소형 엑스선 튜브의 외부에 펌프를 연결한 것이 아니라, 진공 게터를 사용하였다. 개발된 진공 밀봉된 준-단일파장 초소형 엑스선 튜브의 동작특성을 알아보기 위해 40킬로볼트, 50킬로볼트의 에너지에서 각각 스펙트럼을 측정하였다. 스펙트럼 측정시 몰리브덴 필터를 사용하지 않은 경우, 그리고 몰리브덴 필터의 두께가 10㎛, 20㎛, 30㎛, 40㎛, 50㎛인 경우 스펙트럼을 측정하였다. 몰리브덴 필터를 사용하지 않은 경우 제동복사선과 몰리브덴의 특성 엑스선인 케이 알파선과 케이 베타선이 잘 측정되었다. 필터를 사용한 경우 제동복사선과 특성 엑스선은 많이 흡수되어 세기가 많이 줄었다. 몰리브덴의 흡수단 에너지인 20케브 이후에는 거의 다 흡수가 되었다. 몰리브덴 필터를 사용한 진공 밀봉형 준-단일파장 초소형 엑스선 튜브의 스펙트럼 측정 결과 준-단일파장의 엑스선이 나오는 것을 알 수 있다.
