While cluster tools for semiconductor manufacturing usually repeat work cycles with relatively well controlled process times, they are often subject to variation in process times. We examine effects of process time variation in cluster tools on tool performance. We first develop a Petri-net based tool simulator and analyze how and how much the tool cycle time degrades as the process time variation increases. We investigate how well the popular swap-based cyclic scheduling sequence, a state-independent schedule rule, works and when its performance can be outperformed by state-dependent dynamic dispatching rules. We propose dispatching rules by examining the tool behavior. We also examine wafer delay performance against time variation, and propose a simple feedback control rule that can effectively control the maximum wafer delay.
반도체 제조용 클러스터 장비에서는 대부분 비교적 제어가 용이한 공정시간을 가지고 작업사이클을 반복하게 되나 공정에 따라서는 작업시간의 변동이 발생하게 된다. 따라서 작업시간의 변동이 클러스터 장비의 수행능력에 미치는 영향에 대해 연구할 필요가 있다. 먼저, 페트리넷 기반의 시뮬레이터를 구성하여 작업시간 변동이 커짐에 따라 성능이 어떻게 저하되고 그 정도가 얼마나 되는지를 분석한다. 그리고 작업시간 변동에 따라 작업순서가 다이나믹하게 변하는 디스패칭 룰에 비해 상태에 독립적으로 운영되는 스왑기반의 주기적 스케줄이 언제 우월한 성능을 보이게 되는지를 분석한다. 또한 제안된 디스패칭 룰이 어떤 경우에 스왑 스케줄보다 낳은 성능을 보이게 되는지를 조사한다. 마지막으로 작업시간 변동에 따른 웨이퍼딜레이 제어를 위해 피드백 아크를 이용하여 운영 레시피에 맞는 디스패칭룰을 제안하고 실험을 통해 비교하도록 한다. "
