서지주요정보
매엽식 웨이퍼 자동선별 라인의 운용 최적화에 관한 연구 = Operational optimization of an automated electrical die sorting line with single-wafer transfer
서명 / 저자 매엽식 웨이퍼 자동선별 라인의 운용 최적화에 관한 연구 = Operational optimization of an automated electrical die sorting line with single-wafer transfer / 주용재.
저자명 주용재 ; Joo, Yong-Jae
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2009].
Online Access 원문보기 원문인쇄

소장정보

등록번호

8020263

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

DIE 09003

휴대폰 전송

도서상태

이용가능

대출가능

반납예정일

초록정보

The AMHS(automated material handling system) composed of OHT(overhead hoist transport), OHS(overhead shuttle), and RGV(rail-guided vehicle) is one of the most representative aspects of successful 300mm wafer fabrication(FAB) lines. The success of FABs made AMHS to be spread to the other manufacturing lines of semiconductor industry such as electrical die sorting(EDS) lines. In the EDS line of this study, the standard unit of processing in the testing machine and transportation on the rail-guided vehicle(RGV) is a single wafer. And wafers are delivered between machines because there is no common buffer in the line but very small-sized individual input/output ports exist within each machine. The absence of common buffer and heavy transportation load caused by the single-wafer transfer make the sequencing and timing of testing machines and RGVs to be coupled tightly. In the tightly coupled system processing equipments and AMHS should be coordinated with great delicacy in an integrated framework. This dissertation suggests a bottleneck-focused integrated planning, scheduling, dispatching and control framework for an automated EDS line which is a kind of tightly coupled systems. The sub-problems of the integrated framework are as follows. The first problem is planning and scheduling of the parallel machines. Arrivals of wafers are dynamic and known in advance and the production requirement of each product for every period is given. The objective of this problem is maximizing the on-time-delivery. The size of lots(number of continuous processing without setup change) and the sequence of lots of all machines are decided. We propose two heuristic algorithms for this problem. Second, operational strategies and conflict-free control of RGV-based wafer handling system are developed. We suggest a free-ranging operational strategy in contrast to conventional zone-control policy. And we develop real-time graph-based traffic control algorithm for coordinating multi-RGVs on a bidirectional rail safely and efficiently without conflict. Finally, we develop a bottleneck-focused real-time scheduling algorithm for an automated EDS line which is a kind of flexible flow lines. Deadlock prevention/avoidance rules are considered and a look-ahead dispatching rule for avoiding blocking and starvation is proposed.

최근의 반도체 및 평판 디스플레이 제조 라인에서는 고청정, 고신뢰성, 고속의 OHT, OHS, RGV 등을 기반으로 하는 무인 자동화된 물류시스템이 더욱 확대하여 채택되고 있으며, 라인 내 공용 버퍼는 대폭 감소되고 공정 및 물류의 기본 단위가 매엽식 또는 소형 로트로 축소되고 있다. 그 결과 공정 설비와 물류 설비의 상호 스케쥴 결합 정도는 더욱 긴밀해졌으며, 전체 라인의 운용 최적화를 위한 물류 시스템의 역할이 증대되었다. 이러한 공정 스케쥴과 운송 스케쥴의 상호 결합 정도가 강한 상호 밀겹합 시스템의 운용 최적화를 위해서는 새로운 통합적 접근전략이 필요하다. 본 연구에서 필자는 상호 밀결합 시스템의 특성을 띄고 있는 웨이퍼 자동 선별 라인의 운용 최적화를 위한 병목 공정 중심의 통합적인 운용 전략을 제안하고, 통합적인 운용 전략을 구성하는 세부 문제들을 정의하여 그에 대한 해법들을 제시한다. 먼저 복수 제품에 대한 제품별 주기별 재료의 도착량과 완제품의 생산 요구량이 주어진 병목 공정의 병렬 설비들에 대하여 적시 배송률을 최대화하기 위한 로트 크기 및 처리 순서 결정 문제의 근사 해법들을 제시한다. 다음으로 하나의 직선 선로에서 양방향으로 움직이며 운송 작업을 수행하는 복수의 대차들을 충돌없이 효율적으로 제어하기 위한 효율적인 물류 시스템 운용 전략 및 그래픽 기반 실시간 교통제어 알고리듬을 제시한다. 마지막으로 공정 설비와 운송 설비가 상호 밀결합된 유연흐름라인에서 적시배송률을 최대화 하기 위한 병목 공정 중심의 실시간 스케쥴링 기법을 제안한다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {DIE 09003
형태사항 viii, 128 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Yong-Jae Joo
지도교수의 한글표기 : 이태억
지도교수의 영문표기 : Tae-Eog Lee
학과명칭변경: 산업공학과에서 산업및시스템공학과로 변경됨
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과,
서지주기 참고 문헌 : p. 123-128
주제 planning;lotsizing;scheduling;dispatching;traffic control
생산계획;스케쥴링;디스패칭;교통제어;셋업계힉
QR CODE qr code