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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 (A) nano-patterning method by trans-scalable microfabrication using 3D diffuser Lithography = 3차원 디퓨저 리쏘그래피를 이용하여 나노 패터닝이 가능한 트랜스 스케일 마이크로 공정법에 관한 연구 / Dong-Haan Kim.
저자명 Kim, Dong-Haan ; 김동한
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2009].
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Online Access /thesis_pdf_02/2009/2009M02007...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8019855 학술문화관(문화관) 보존서고
MNT 09001  

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초록

상세 정보
형태사항 viii, 69 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 김동한
지도교수의 영문표기 : Jun-Bo Yoon
지도교수의 한글표기 : 윤준보
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 나노과학기술학제전공,
서지주기 References : p. 60-61
주제 patterning;trans-scalable ;Microfabrication;Lithography;MEMS
패터닝;트랜스스케일;마이크로패브리케이션;리소그래피;멤스
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