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스핀 코팅에서의 액막의 흐름과 유체역학적 안정성 = The flow and hydrodynamic stability of a liquid film on spin coating
서명 / 저자 스핀 코팅에서의 액막의 흐름과 유체역학적 안정성 = The flow and hydrodynamic stability of a liquid film on spin coating / 김태성.
저자명 김태성 ; Kim, Tae-Sung
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2008].
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8019643

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DME 08035

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초록정보

The flow of a liquid film on spin coating is investigated in both cases that the fixed volume of a liquid is placed on the center of a stationary disk, and a liquid is supplied at a constant flow rate. We propose thin film equations that are well approximated when the characteristic length in the vertical direction is much smaller than that in the radial direction ( $\varepsilon\ll1$ ), and their results are compared with the results of Navier-Stokes equations. We also derive the differential equation that governs the free surface of a liquid when $\varepsilon\ll1$ and $\varepsilon Re\ll1$ in the former case or the distance from the center of a disk is very large ( $r\gg1$ ) in the latter case. The basic flow and its stability are analyzed using the thin film equations. Our result of the basic flow is compared to the results of a few numerical calculations and several experiments in both cases. A local stability analysis of the flow is conducted using the linearized disturbance equations. Its results are compared with those of the Navier-Stokes equations and experiments in the latter case.

일정 액적의 액체가 원판의 중앙에 놓여져 있는 경우와 액체가 일정 유량으로 공급되는 경우의 스핀 코팅에서의 액막의 흐름을 조사한다. 우리는 높이 방향으로의 특성 길이가 반경 방향의 특성 길이보다 대단히 작을 때 ($\varepsilon\ll1$ ) 잘 근사하는 박막근사방정식을 제안하고, 그 결과를 Navier-Stokes 방정식의 결과와 비교하였다. 또한 전자의 경우에 $\varepsilon\ll1$ 이고 $\varepsilon\Re\ll1$ 일 때 또는 후자의 경우에 원판의 중심으로부터의 거리가 매우 클 때 ($r\gg1$)의 액체의 자유 표면을 지배하는 미분방정식을 유도하였다. 박막근사방정식을 사용하여 기본흐름과 안정성을 조사하였다. 우리의 기본흐름의 결과를 양쪽 경우에 대해서 몇 가지 수치 계산 및 실험들과 비교하였다. 선형교란방정식을 사용하여 흐름의 국소 안정성 해석을 수행하였다. 그 결과를 후자의 경우에 Navier-Stokes 방정식의 결과 및 실험들과 비교하였다.

서지기타정보

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청구기호 {DME 08035
형태사항 vi, 119 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Tae-Sung Kim
지도교수의 한글표기 : 김문언
지도교수의 영문표기 : Moon-Uhn Kim
수록잡지정보 : "Fluid dynamics research". The flow and hydrodynamic stability of a liquid film on a rotating disk,
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공,
서지주기 참고문헌: p. 117-119
주제 liquid film;thin film;spin coating;rotating disk;local stability analysis
액막;박막;스핀 코팅;회전 원판;국소 안정성 해석
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