This paper develops the heuristics for scheduling in a semiconductor wafer fabrication facility (fab) with machine dedication characteristic. Machine dedication in a fab is the characteristic that each machine can process only a set of specific product families. A setup operation is required between processings of wafer lots of different product families, and the length of the setup time is significantly long compared with processing times of wafer lots. This scheduling problem can be found at the etching, chemical vapor deposition and ion implant processing workstations. For the objective of minimizing makespan, we develop several heuristic algorithms. To evaluate performance of the suggested algorithms, a series of computational experiments are performed on a number of test problems and results show that the suggested algorithms give good solutions in a short amount of computation time.
본 논문은 반도체 제조 과정 중 셋업이 있는 병렬 전용 기계에서의 최대 종료시간을 최소화 하는 스케쥴링에 관한 휴리스틱 알고리듬을 제안한다. 반도체 제조 공정에서 병렬 전용 기계 라는 것은 각각의 기계가 특정 종류 family들의 집합에 속한 랏들만 수행이 가능한 기계를 말한다. 셋업 공정은 다른 종류의 패밀리에 속한 웨이퍼 랏들이 연속으로 작업이 발생할 때 그 사이에 일어난다. 셋업 공정의 작업시간은 웨이퍼 랏의 작업 시간에 비해 상당히 길다. 이러한 스케쥴링 문제는 반도체 공정의 엣칭, 화학증착공정 (CVD, Chemical Vapor Deposition), 이온주입공정 (IIP, Ion Implantation Processing) 등의 워크스테이션에서 찾아 볼 수 있다. 최대 종료 시간을 최소화 시키기 위해 논문에서는 여러 개의 휴리스틱 알고리듬을 제안한다. 제안된 알고리듬을 다양한 문제에 대하여 실험하고 평가한 결과, 짧은 시간안에 좋은 결과를 보여주는 것으로 나타났다.
