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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정 = The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope) / 김동민.
저자명 김동민 ; Kim, Dong-Min
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2007].
online access
Online Access /thesis_pdf_02/2007/2007D02002...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8017949 학술문화관(문화관) 보존서고
DME 07004  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 xi, 100 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Dong-Min Kim
지도교수의 한글표기 : 권대갑
지도교수의 영문표기 : Dae-Gab Gweon
수록잡지명 : "Optimal design of a flexure hinge-based XYZ atomic force microscope scanner for minimizing abbe errors". Review of scientific instruments, 76, 073706(2005)
수록잡지명 : "A new nano-accuracy AFM system for minimizing abbe errors and the evaluation of its measuring uncertainty". Ultramicroscopy,
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공,
서지주기 참고문헌 수록
주제 원자현미경
나노 플렉셔 힌지 스테이지
최적 설계
나노 메트롤로지
자가 보정
계통 오차
아베 오차 최소화
불확도 평가
미러 직각도 오차
AFM (Atomic Force Microscope)
nano flexure hinge stage
optimal design
nano metrology
self calibration
systematic error
Abbe error minimization
Uncertainty evaluation
Mirror orthogonality error
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