A new surface texturization method was investigated. By Polymer Dispersed Liquid Crystal (PDLC) and ICP dry etching, texture was made. Since PDLC can control its’ transmission, we could make photoresist textures which have various shapes by changing voltage and UV-dose. Using these photoresist textures and ICP dry etching, silicon textures are made. The etch ratio of PR to Si was 1.7 and etch rate was 0.17㎛/min for photoresist. By this method, we made two textures which have different shapes and using these, surface texturized solar cell was fabricated. One of these have 4% increased Jsc than untexturized solar cell. The other cell which has steeper texture than fomer cell have 10% increased Jsc. So, it shows textures made by PDLC can increase solar cell efficiency and the shape of texture can affect cell efficiency.
태양전지는 차세대 에너지원으로써 크게 주목받고 있다. 태양전지 분야에서는 효율을 높이기 위한 많은 연구가 되고 있으며 그러한 노력은 반사방지막, 빛의 집중화 및 요철을 통한 빛의 가둠 효과를 통한 것이다. 표면 요철이 만들어지면, 표면에서 두 번 반사될 가능성이 생기기 때문에 효율이 높아 질 수 있므며, 또한 입사각을 변화시킴에 의해서 빛을 좀 더 오래 태양전지 내에 있도록 할 수 있는 것이다. 새로운 표면 요철 생성법에 대한 연구로써 PDLC와 ICP 건식 식각을 통해서 요철을 만들었다. PDLC는 가해지는 전압에 의해서 투과성을 바꿀 수 있기 때문에 일반적인 리소그래피 과정을 통해서 다양한 모양을 가지는 포토레지스트 패턴을 만들수 있다. 이러한 포토레지스트 패턴과 ICP 건식 식각을 통해서 새로운 실리콘 요철을 생성할 수 있다. ICP 건식 식각에서 PR과 Si의 식각비율을 1.7:1이며 분당 0.17㎛가 식각된다. 이러한 방법을 통해서 두 가지 종류의 표면 요철을 만들었으며 표면 요철화 된 태양전지는 4%와 10%의 전류 향상을 보였다. 10%의 경우는 좀 더 경사진 요철의 경우였으며, 이를 통해서 표면 요철을 통해 더 좋은 태양전지의 효율을 얻을 수 있으며 표면 요철의 최적화에 대한 방향성을 제시했다.
