Modem cluster tools tend to clean processing chambers after a specified number of wafers are processed. Such cleaning steps are intended to reduce the quality risk due to the residual chemicals within the processing chambers. When such cleaning steps are introduced, the conventional scheduling methods for cluster tools such as the swap operation sequence for dual-armed cluster tools are no longer effective. We examine the scheduling problem for a dual-armed cluster tool that performs cleaning steps periodically. We develop a systematic way of generating all feasible robot task sequences, for which the cycle times can be computed. However, the number of feasible robot task sequences increases too fast to be enumerated as the cleaning cycle and the number of process steps increase. To address the complexity problem, we propose three heuristic scheduling strategies. We also develop a method of systematically modeling the event graph models for the tool behavior, from which the cycle time and the desirable schedules can be easily computed by the known procedures.
최근에 등장한 클러스터 장비 중에는 주기적으로 각 공정 모듈을 세정하는 작업을 수행하는 것들이 있다. 이러한 클리닝 작업은 공정 모듈에 남아있는 잔여 화학 찌꺼기를 제거하기 때문에 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 중요한 작업이다. 양 팔 클러스터 장비에서 기존에 최적으로 알려진 스케줄링 전략은 스왑 방식이다. 그러나 클리닝 작업이 포함된 클러스터 장비에서는 이러한 스왑 방식이 더 이상 효율적이지 못하다. 따라서, 이를 보완할 수 있는 새로운 운용 전략이 요구된다. 본 논문에서는 주기적으로 클리닝이 일어나는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 문제를 다루었다. 먼저 모든 가능한 로봇운용순서를 생성하고, 이들의 사이클 타임을 계산할 수 있는 프레임워크를 제안하였다. 그러나 모든 가능한 로봇운용순서의 수는 클리닝 사이클과 프로세스 스텝 수가 증가함에 따라 급속도로 커지기 때문에, 모두 생성하여 비교 평가하는 것은 가능하지 않다. 이러한 복잡도의 문제를 해결하기 위해서, 세 가지의 휴리스틱 운용 전략을 제시하고 분석하였다. 또한 주어진 로봇운용순서에 대응하는 이벤트 그래프를 체계적으로 생성할 수 있는 프로시저를 제안하여 사이클 타임의 계산과 각 작업의 타이밍 결정을 용이하게 하였다.
