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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 요동자석 스퍼터링 시스템에서의 타겟식각에 관한 연구 = Study on target erosion in rocking magnet sputtering system / 이도선.
저자명 이도선 ; Lee, Do-Sun
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2004].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/2004/2004M02002...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8015670 학술문화관(문화관) 보존서고
MAME 04043  

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대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 ii, 58 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Do-Sun Lee
지도교수의 한글표기 : 이원종
지도교수의 영문표기 : Won-Jong Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 57-58
주제 마그네트론 스퍼터링
타겟식각
타겟효율
타겟수명 액상량
MAGNETRON SPUTTERING
EROSION
TARGET UTILIZATION
TARGET LIFE-TIME
PIC-MCC
TEMPERATURE
AND LIQUID VOLUME FRACTION
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