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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 3D Simulator of integrated single-wafer processing tools = 매엽식 반도체 통합제조장비 시뮬레이터 / Woo-Suk Kim.
저자명 Kim, Woo-Suk ; 김우석
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2004].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/2004/2004M02002...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8015637 학술문화관(문화관) 보존서고
MME 04085  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 xi, 99 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 영어
일반주기 Includes appendix
저자명의 한글표기 : 김우석
지도교수의 영문표기 : Doo-Yong Lee
지도교수의 한글표기 : 이두용
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공,
서지주기 Reference : p. 85-88
주제 single-wafer processor
3D simulator
contingency handling procedure
semiconductor manufacturing
매엽식 통합제조장비
3차원 시뮬레이터
예외상황처리
반도체 생산
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