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중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate buffers
서명 / 저자 중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate buffers / 백진흠.
저자명 백진흠 ; Paek, Jin-Heum
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2002].
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서울 학위논문 서가

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초록정보

We consider a vacuum cluster tool with intermediate buffers between the vacuum processing area and the atmospheric wafer input-output area. The intermediate buffers which temporarily store at the slots wafers for processing or processed ones should be appropriately controlled. The buffers should be pumped down to the vacuum state or vented to the atmospheric state for transferring wafers between the two areas. We examine the operating strategies of pumping and venting operations at the buffers, which are associated with the wafer handling robots in the two areas. We propose the optimal robot task sequences and the buffer operating procedure.

서지기타정보

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청구기호 {MIE 02016
형태사항 ii, 57 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jin-Heum Paek
지도교수의 한글표기 : 이태억
지도교수의 영문표기 : Tae-Eog Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 56-57
주제 클러스터 장비
중간버퍼
운용전략
Cluster Tool
Intermediate Buffers
Operating Strategies
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