Microwave induced sulfur discharge was generated by 2.45GHz microwave generator for low dielectric material processing. Sulfur discharge was generated in a quartz ball which sealed with a few sulfur powder and hundred militorr argon buffer gas. The measurement of optical spectrum was found that the most of emission occurred at UV range. Form these results the character of sulfur discharge will be discussed
저유전율 박막 제조를 위해서 2.45GHz 마이크로파를 이용한 황 방전을 일으켰다. 황방전은 수백토르의 아르곤 가스와 수밀리그램의 황가루를 넣고 밀봉한 수정구에서 이루어졌다. 스펙트럼 측정결과 대부분의 광방출이 자외선 영역에서 이루어짐을 발견했다. 이런한 결과들로부터 황방전의 특성에 대해 논의 한다.
