Asymmetrically Driven Transversely Magnetized Capacitive Coupled Plasma is investigated using Double probe and 1000-1 probe. Self-bias concerned main effect to increase ion energy decreases with power decrease, magnetic field and pressure increase. But, self-bias is not strong function of B-field in high pressure, due to high collisional frequency.
As power increase in low pressure, electron temperature decrease ＆ electron density increase. But, in high pressure, power dependances of ne, Te are opposite to those of low pressure. That can be considered the transition of Power dissipation mode. And electron density, electron temperature are strong function of power in low pressure, but not in high pressure.
Electron temperature increase with B field increase in almost all ranges of pressure. But, B-field can give a little influence to electron density in low pressure .And it is negligible in high pressure.
With γ-α mode transition, we can interpretate All curve-profiles of ne, Te in this experiment.
본 연구는 1000-1,Double Probe를 가지고, 비대칭적으로 구동되는 횡자기장이 걸린 축전결합플라즈마를 연구하였다. 이온에너지에 가장 큰 영향을 주는 self bias는 파워에 따라 증가하였고, 자기장과 압력에 따라 감소하였다. 그러나 압력이 높은 영역에서는 자기장과 파워에 대한 효과가 매우 작았다.
낮은 압력에서 파워를 증가시키면 전자밀도는 올라가고 전자온도는 내려가는 것을 발견했다. 그러나 높은 압력에서는 이와 반대의 경향이 나타났는데 이것은 파워소모모드의 변화라고 생각할 수 있다. 자기장의 효과는 모든 압력영역에서 전자온도를 올리는 효과로 나타났고, 전자밀도에는 많은 변화를 못주었고 높은 압력에서는 무시될 정도 있다.
본연구의 나오는 모든 데이터는 γ-α-mode transition의 역transition으로 설명할 수 있었다.
