Biodegradable poly(3-hydroxyundecenoate) (PHU) and poly(3-hydroxybutyrated-co-3-hydroxyvalerate) (PHBV) were crosslinked most efficiently on irradiation with diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoylphosphine oxide) or benzophenone sensitizers. Well-defined patterns were obtained by enzymatic degradation of irradiated PHU under contact masks since the depolymerization rate was considerably slower than that of nature PHU. Patterened images with width of 2.5, 4.5, 8 and 10 ㎛ were obtained indicating the possible application of PHAs as environment-friendly photoresists.
PHU와 PHBV를 여러 증감제 하에서 광화학적으로 가교시킨후 솔-젤 실험을 통해 PHU와 PHBV가 각각 3 퍼센트의 TPO와 BP하에서 가장 효과적인 가교를 보여줌을 알 수 있었다. PHU와 PHBV에 대한 세포외분해효소가 잘 알려진 방법에 의하여 P. alcaligenes $LB19^19$와 A. faecalis $T1^20$로부터 얻어졌다. TPO 광증감제가 첨가된 PHU를 실리콘웨이퍼위에 스핀코팅시킨 후 마스크를 씌운 뒤 자외선을 조사해 분해효소 용액에 담금으로써 2.5, 4.5, 8, 10 마이크로미터의 해상도를 가진 상대적으로 잘 형성된 패턴을 얻을 수 있었다. 같은 방법을 PHBV에 대해서도 적용해 보았으나 패턴을 얻을 수는 없었다. 가교된 PHU 및 PHBV에 대해 강염기성 용액 및 용매를 사용하는 일반적인 develop 과정을 적용해 보았으나 상대적으로 많이 손상된 패턴을 얻을 수 있었다.
PHU가 분해효소에 의해 develop 되어 질 수 있고, 환경에 노출 되었을 때 미생물에 의한 분해가 가능하다는 점을 감안할 때, 이 연구에서 얻어진 결과는 PHU에 대한 환경친화적인 포토레지스트로의 응용 가능성을 보여주고 있다고 할 수 있다. 하지만 좀더 좋은 해상도의 패턴을 얻기 위해서는 여전히 고분자 내의 가교정도와 균일성을 높이는 것이 필요하다. 또한 다른 종류의 PHA에 대한 포토레지스트로의 응용가능성연구와 좀더 효과적인 가교시스템의 개발 및 효소의 개발이 요구되어진다.
