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클러스터 장비의 제어기와 스케쥴러 개발을 위한 가상 클러스터 장비 모델 = A virtual cluster tool model for cluster tool controller and scheduler development
서명 / 저자 클러스터 장비의 제어기와 스케쥴러 개발을 위한 가상 클러스터 장비 모델 = A virtual cluster tool model for cluster tool controller and scheduler development / 주용재.
저자명 주용재 ; Joo, Yong-Jae
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2001].
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8011761

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학술문화관(문화관) 보존서고

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서울 학위논문 서가

MIE 01020 c. 2

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초록정보

Recent cluster tools, such as cluster tools for chemical vapor deposition processes, have complex and frequently changing module configurations and wafer flow patterns, and strict timing constraints on the residency times at process modules. They also should have appropriate contingency procedures for occurrences of abnormal events such as residency time violation, breakdowns of a process module. It is challenging to rapidly develop and test a cluster tool controller and scheduler for such complex cluster tools. We propose a virtual cluster tool model that can be used for verifying a scheduler or a cluster tool controller. We explain the model architecture and modeling strategies. We also discuss the experience of using the virtual cluster tool model for verifying a cluster tool scheduler.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MIE 01020
형태사항 iv, 82 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Yong-Jae Joo
지도교수의 한글표기 : 이태억
지도교수의 영문표기 : Tae-Eog Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 80-82
주제 클러스터 장비
가상 클러스터 장비
검증
cluster tool
virtual cluster tool
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